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  • 德國MechOnics壓電式納米定位臺

    德國MechOnics壓電式納米定位臺的結構通常包括壓電陶瓷作為驅動源,結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸等多自由度的精密運動。MechOnics壓電式納米定位臺這種結構設計使得壓電納米定位臺具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器后,可實現納米級分辨率及定位精度。

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